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  • EFG、VB、CZ、FZ法等晶体生长设备
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• 晶片倒角设备
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• MIST-CVD外延设备
  • Mist-CVD氧化物薄膜沉积设备 M150A
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  • 高温退火炉 PFS-4000
• 快速高温退火设备
  • 快速高低温退火设备RTA（离子注入后活化激活）
• 背面处理设备
  • 全自动晶片减薄设备SGM-9100
• 键合设备
  • 高还原性低温热压键合设备 FATB
  • 高还原性低温热压对准键合设备 MAFP
  • C2W低温热压键合设备 SAFP
• 量测设备
  • 晶片边缘轮廓仪
  • 非接触测厚设备（用于晶片、电路板等产品）
  • 飞行时间二次离子质谱仪 TOF-SIMS
  • 多功能扫描X射线光电子能谱仪 XPS
• 配件及耗材
  • 钽罩（碳化硅晶体生长炉关键部件）
  • 金刚石研磨液
  • 抛光液
  • 抛光布及抛光垫
  • 研磨盘及抛光盘